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                          立式氫氣爐技術參數表格
                          • 用途及特點
                          • 規格參數
                             產品應用
                             
                            本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
                                 型號    
                                  Mode    
                                   技術參數  
                              Technical Data   
                            L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(無油) L1122Ⅱ-1
                            ******加熱溫度(空爐 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
                            額定工作溫度
                            Rated Working Temperature
                            1200℃ 1100℃ 2100℃
                            加熱方式
                            Heating Mode
                            鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鉭皮
                            Tantalum sheet
                            爐溫均勻性
                            Furnace Temperature Uniformity
                            ±5℃ ±5℃ ±5℃
                            爐膛尺寸
                            Furnace Chamber Dimension
                            Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
                            控溫精度
                            Temperature Control Precision
                            ±1℃ ±1℃ ±1℃
                            空載室溫到工作溫度時間
                            From Room Temperature to working temperature
                            < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
                            真空系統
                            Vacuum System
                            擴散泵系統
                            Diffusion Pump System
                            分子泵系統
                            Turbo Pump System
                            分子泵系統
                            Turbo Pump System
                            極限真空(空爐)
                            Ultimate Pressure(no-load)
                            5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
                            工作真空度
                            Working Vacuum
                            5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
                            壓升率
                            Pressure Rise Rate
                            0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
                            冷卻水壓
                            Cooling Water Pressure
                            0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
                            總重量
                            Total Weight
                            1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
                            設備總功率
                            Total Power
                            30 KW 22 KW 30 KW


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