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                          P系列真空排氣臺技術參數表格
                          • 用途及特點
                          • 規格參數
                            產品應用
                             
                            用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

                             
                            主要結構與工作方式
                             
                            ●手工裝料
                            ●立式,單工位、多工位
                            ●主機與控柜一體或分開設置
                                 型號    
                                  Mode    
                                   技術參數  
                              Technical Data   
                            P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
                            主極限真空度
                            Ultimate Vacuum
                            ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
                            烘箱真空
                            Baking Chamber Vacuum
                            ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
                            烘箱工作空間
                            Baking Chamber Dimension
                            Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
                            真空系統
                            Vacuum System
                            分子泵系統
                            Turbo Pump System
                            分子泵系統
                            Turbo Pump
                             System
                            離子泵系統
                            Ion Pump System
                            冷凝泵系統
                            Cryopump System
                             
                            ******溫度
                            Max.Temperature
                            650℃ 600℃ 600℃ 600℃
                            溫度均勻性(軸向)
                            Temperature Uniformity
                            ≤±5℃三點測溫
                            (3 point measurement)
                            ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
                            (3 point measurement)
                            抽氣速度
                            Pumping Speed
                            ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
                            加熱功率
                            Heating Power
                            12 KW 18 KW(10可調,8固定)
                            (10 adjustable,8 fixed)
                            9 KW 10 KW
                            總功率
                            Total Power
                            15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
                            加熱方式
                            Heating Mode
                            外加熱
                            Outside Heating
                            外加熱
                            Outside Heating
                            內加熱
                            Inside Heating
                            內加熱
                            Inside Heating


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