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RK DZQ270-1A電子束蒸發源
用途及特點
規格參數
產品特點
●RK DZQ270-1A型電子槍為開放式電子槍,可以和任意穴位坩堝配用;
●采用270度內藏式燈絲,有效避免了熔料對燈絲的污染,提高了燈絲的壽命;
●配有專用水冷結構對永磁體進行冷卻保護,確保束流長時間穩定工作;
●維護保養簡捷方便,配有更換燈絲的專用工裝。
技術指標
●加速電壓:-6KV~-10KV
●******電子束流:1A
●******功率:10KW
●電子束偏轉角:270°
●電子束掃描范圍:15mm×15mm(X/Y)
●冷卻水速率:******速度8L/分(水溫在15℃~25℃,壓差不低于0.1MPa,******壓力不高于0.3MPa)
●氣密性:漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
●工作真空度范圍:5×10-4Pa~5×10-2Pa
●外形尺寸:W148×H158×Dl84(mm)
●重量:約10Kg
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RK GGC-D10坩堝傳動裝置
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