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                          F型渦輪分子泵
                          • 用途及特點
                          • 規格參數
                            產品用途:Product Applications
                             
                            ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
                             
                            主要應用領域:Main applications:
                             
                            ●表面物理和分析儀器
                            ●等離子體物理,空間研究
                            ●核聚變裝置
                            ●原子束分子束系統,粒子加速器
                            ●真空鍍膜
                            ●真空冶煉
                            ●半導體和光學器件制造

                            產品特點:Product Features
                             
                            ●體積小,安裝和使用方便
                            ●理想的動平衡,震動和噪音小
                            ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
                            ●陶瓷軸承使用壽命長
                            F型渦輪分子泵
                            Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
                            技術參數Technical specifications:
                            型號 
                            Model
                            FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
                            進氣口法蘭 
                            Inlet flange  (mm)
                            DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
                            出氣口法蘭 
                            Oulet flange  (mm)
                            DN40KF DN63LF DN100LF
                            抽氣速度  
                            Pumping speed  (L/S)
                            450 1400 3500
                            極限壓力
                            Ultimate pressure
                            不烘烤
                            Without baking  (Pa)
                            6×10-6 6×10-6 6×10-6
                            壓縮比
                            Compression ratio
                            對N2 108 108 108
                            對H2 102 102 102
                            轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
                            起動時間  
                            Start-up time <(Min)
                            5 10 20
                            前級壓力  
                            Fore pressure <(Pa)
                            10 10 10
                            建議采用的前級泵
                            Recommended backing pump  (L/s)
                            8 15 30
                            冷卻水溫度
                            Cooling water temperature <(℃)
                            ≤25 ≤25 ≤25
                            冷卻水壓力
                            Cooling water pressure (Mpa)
                            0.196 0.196 0.196
                            泵體烘烤溫度
                            Temperature of baking <(℃)
                            120 120 120
                            重量  
                            Weight(Kg)
                            35 70 125
                             

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